Polymers in microlithography - materials and processes
- Författare
- (Elsa Reichmanis, editor, Scott A. McDonald, editor, Takao Iwayanagi, editor.)
- Genre
- Bibliografi, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
![](https://images.amazon.com/images/P/0841217017.01.MZZZZZZZ.jpg)
Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
ACS | 1989 | USA, Washington, D.C | xii, 449 sidor. |