Polymers in microlithography - materials and processes
- Författare
- (Elsa Reichmanis, editor, Scott A. McDonald, editor, Takao Iwayanagi, editor.)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| ACS | 1989 | USA, Washington, D.C | xii, 449 sidor. |